TMCS TACIS 4主動隔振系統(tǒng)，用于半導體隔振

產品概述

STACIS®4是**的主動隔振系統(tǒng)。它裝有慣性振動傳感器，配合準確的控制算法與*的壓電作動器。STACIS 4可實時偵測地面振動再憑借壓電作動器的收縮或膨脹即刻消除地面振動。全新的STACIS 4建立在我們成熟的STACIS技術基礎上，該技術被全Q十個大半導體制造商中的九家所使用。

起初STACIS是為半導體工廠的精密光刻機，計量儀和檢測設備而設計，如今是嘈雜環(huán)境中z敏感儀器的行業(yè)標準隔振解決方案，包括但不限于故障分析，納米技術研究，納米制造，結構生物學和材料研究等應用。
STACIS 4包括新改進的，低噪聲的數字控制器，DC-2020帶有雙核處理器。這種新的控制系統(tǒng)為使用者提供了一個易用的圖形用戶界面(GUI)。

STACIS 4建立在前幾代的成功架構上，增加了*的控制算法和新的專有技術。以前無法實現對建筑物地面所有頻率的振動消除，但特別是10Hz以下的振動，對高分辨率成像和計量來說*敏感的。當與FloorSense™技術相結合時，STACIS 4在2Hz時可減少60 dB的建筑物地面振動，在1Hz時可減少27dB。

TMCS TACIS 4主動隔振系統(tǒng)，用于半導體隔振

產品優(yōu)點：

STACIS 4相比于氣浮支腿更加堅固可靠，且不存在氣浮隔振系統(tǒng)離不開氣源的局限性。它無氣浮支撐，并且與主動的氣浮系統(tǒng)不同。STACIS 4可以放置在具有內部主動空氣隔離系統(tǒng)的設備下面，且兩個隔振系統(tǒng)相互兼容。
     特別的串聯設計和專有的壓電技術所產生0.2 Hz至150 Hz的寬帶隔離，在2Hz時可減少99.9%的振動。
     比STACIS III更好的振動控制，與行業(yè)標準解決方案相比，STACIS 4將2 Hz的振動控制提高了60 dB以上。
     穩(wěn)定的串聯設計允許使得您安裝后即可，無需再次安裝調試，不像并行式設計本質上是不穩(wěn)定的，需要頻繁調整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允許兩級振動控制設計，可以在STACIS III系統(tǒng)之上結合被動或主動的平行平臺。隨著對儀器的振動分辨率的要求越來越高，兩級設計正變得越來越普遍。
     STACIS 4的性能相當于在穩(wěn)定的地面上減少5個VC曲線的振動。這種性能使用戶能夠靈活地在不理想的振動環(huán)境中安裝儀器，從而在設施布局和設計方面具有更大的適配性。

產品規(guī)格

應用案例：

森泉為您的科研事業(yè)添磚加瓦：

激光控制：激光電流源、激光器溫控器、激光器控制、伺服設備與系統(tǒng)等等

探測器：光電探測器、單光子計數器、單光子探測器、CCD、光譜分析系統(tǒng)等等

定位與加工：納米定位系統(tǒng)、微納運動系統(tǒng)、多維位移臺、旋轉臺、微型操作器等等

光源：半導體激光器、固體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、窄線寬激光器、光通訊波段激光器、CO2激光器、中紅外激光器、染料激光器、飛秒超快激光器等等

光機械件：用于光路系統(tǒng)搭建的 gao 品 zhi 無應力光機械件，如光學調整架、鏡架、支撐桿、固定底座等等

光學平臺：主動隔振平臺、氣浮隔振臺、實驗桌、剛性工作臺、面包板、隔振、隔磁、隔聲綜合解決方案等等

光學元件：各類晶體、光纖、偏轉鏡、反射鏡、透射鏡、半透半反鏡、濾光片、衰減片、玻片等等

染料：激光染料、熒光染料、光致變色染料、光致發(fā)光染料、吸收染料等等